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產(chǎn)品展示

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真空主動隔振平臺ZVI-VB系列

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品時間:2025-07-02
  • 簡要描述:真空主動隔振平臺ZVI-VB系列,可以在真空環(huán)境下使用的主動隔振平臺、能更好適配真空實(shí)驗(yàn)場景。
  • 產(chǎn)品介紹

真空主動隔振平臺ZVI-VB系列

特點(diǎn)

  • 空氣彈簧支撐,磁負(fù)剛度機(jī)構(gòu)

  • 機(jī)械式倒立擺負(fù)剛度機(jī)構(gòu)并聯(lián)正剛度機(jī)構(gòu)

  • 適用1E-4Pa的真空環(huán)境

  • 6自由度主動隔振

  • 主動隔振帶寬低至0.5Hz起

  • 標(biāo)品負(fù)載最大支持7000KG

  • 水平向電機(jī)峰值推力高達(dá)160N

  • 總體規(guī)格(長、寬、高)多種規(guī)格可選

  • 核心控制系統(tǒng)全部自研

  • 核心部件國產(chǎn)化

技術(shù)指標(biāo)

  • 主動隔振帶寬:0.5-150Hz

  • 臺面穩(wěn)定性:≤±5um

  • 傳遞率:≤-20dB@2Hz,≤-35dB@5Hz,≤-50dB@10Hz

  • 水平向電機(jī)峰值推力高達(dá)270N

  • 系統(tǒng)支持最大功率400W

  • 臺面平面度:NTBP:0.02-0.05mm/600mm ×600mm

                      NTBK:0.1mm/600mm×600mm

                      大理石臺面:0級、1級、2級、3級可選(GB/T20428-2006)

  • 臺面厚度:100/200/300mm

  • 孔徑:可定制孔徑

  • 孔距:可定制孔距或特殊位置打孔

  • 標(biāo)品單腿最大承載能力:1800Kg

真空主動隔振平臺ZVI-VB系列命名規(guī)則

真空主動隔振平臺ZVI-VB系列

選型表:(M、K、P參考具體臺面信息)

產(chǎn)品型號

整體規(guī)格(L*W:mm)

臺面上負(fù)載要求(kg)

臺面厚度(mm)

隔振器規(guī)格

(L*W*H:mm)

單腿重量

ZVI-VB-30-15M

3000×1500

100-2000

400

1060×900×202

40kg

尺寸圖:

真空主動隔振平臺ZVI-VB系列

型號

尺寸( mm)

L

W

T

H1

H2

ZVI-VB-30-15M

3000

1500

400

900

500

相關(guān)案例:

真空主動隔振平臺ZVI-VB系列

  • 光刻機(jī):確保光刻膠的精確涂布和曝光。

真空主動隔振平臺ZVI-VB系列

  • 刻蝕設(shè)備:在納米精度上進(jìn)行精確加工,確保芯片電路的完整性。

真空主動隔振平臺ZVI-VB系列

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